扩散泵不是需要预热、而是需要加热,这是扩散泵的工作原理,跟处于什么工艺下进行没有关系.
扩散泵属于增压泵,单独是不可以使用的,必须串联机械泵,如旋片泵、滑阀泵等.
扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉.
扩散泵没有电机,是通过电炉加热使油蒸发,然后冷凝的一个往复运动,期间将空气通过机械泵排出,这是扩散泵的工作原理.
一边情况下我们建议：机械泵的全压强真空度达到2pa以内,开启电炉,后经过40-80分钟的加热扩散泵进行正常的工作.（加热期间真空度也在提升.开始阶段如5-10分钟时真空度可能下降）
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