氯离子是酸性光亮镀铜中不可少的添加剂,同时其含量又有严格的控制,一般用量为20~80ml/L.通过旋转圆盘电极动电位扫描等电化学测试方法对酸性镀铜电沉积过程影响的研究表明,硫酸盐酸性镀铜中加入适当量的氯离子改变了吸附络合物的放电形式,表现在氯离子通过离子桥机理形成三维网状结构并参与放电,从而阻滞铜离子的放电过程,控制了铜结晶和成长的速率,从而使镀层表现出很好的性能.如果没有氯离子的这种作用,镀液的整平性能和光亮度都会下降,容易产生树枝状镀层.但是如果氯离子过量,镀层的光亮度也会下降,并且会增加光亮剂的消耗.氯离子在酸性镀铜中的存在会使酸性镀铜的开路电位正移10mv左右,有利于电子从电极导向铜离子,提高电极表面铜离子的浓度,减小阴极区双电层电容和降低活化极化,有利于晶核的生长,可得到较粗的晶粒,有利于消除镀层的应力.
