问题描述: 单晶炉一般是怎么冷却的. 1个回答 分类:综合 2014-12-03 问题解答: 我来补答 你是指哪部份冷却?1.生产过程中单晶炉靠水冷带走温度冷却,也是我们常说的循环水~2.停炉后的冷却,是靠Ar气带走温度,自然冷却~ 展开全文阅读