单晶炉一般是怎么冷却的.

问题描述:

单晶炉一般是怎么冷却的.
1个回答 分类:综合 2014-12-03

问题解答:

我来补答
你是指哪部份冷却?
1.生产过程中单晶炉靠水冷带走温度冷却,也是我们常说的循环水~
2.停炉后的冷却,是靠Ar气带走温度,自然冷却~
 
 
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