问题描述: 磁控溅射中加热控温电源怎么用,是镀膜之前加热还是镀完膜之后加热的? 1个回答 分类:综合 2014-09-23 问题解答: 我来补答 磁控溅射 中的加热温控电源有两种用途:真空室内部除气烘烤首次使用或长时间未使用,以及真空室开门时间过长--比如几天.在进行镀膜前,为了有很好的本底真空,应该对真空室进行烘烤除气.让真空室内的真空达到较好水平经过长时间镀膜后,本底真空不能达到要求,可以对真空室进行烘烤,除气,提高本底真空.其他需要内部烘烤的情况在镀膜前对基片进行预热基片放气较大,为了保证镀膜质量,先对基片进行预热除气基片的镀膜需要一个较高的起始温度,可先对基片进行加热,达到温度后,开始镀膜.镀膜过程中,一般不需要加热.有的膜需要就地退火,在镀膜完成后.加热到需要的温度后按工艺保温和降温. 展开全文阅读