问题描述： 微电子中扩散工艺和离子注入工艺过程? 1个回答 分类：综合 2014-10-28 问题解答： 我来补答 扩散就是有掺杂源在高温下往衬底中进行扩散呀,离子注入就是高速杂质粒子撞击注入衬底 展开全文阅读
