问题描述： CZ硅单晶中,间隙氧和代位碳在晶体中的纵向分布：氧含量头部高尾部低,碳含量头部低尾部高.为什么? 1个回答 分类：综合 2014-10-12 问题解答： 我来补答 这个去看看分凝系数相关的,碳和氧的分凝系数不一样,氧含量还和坩埚工作时间有关. 展开全文阅读
