RF 射频,Radio Frequency ,简称 RF .射频就是射频 电流,它是一种高频交流 变化电磁波的简称.
所谓RF MEMS是用MEMS技术 加工的RF产品.RF-MEMS技 术可望实现和MMIC的高度 集成,使制作集信息的采 集、处理、传输、处理和 执行于一体的系统集成芯 片（SOC）成为可能.按微 电子技术的理念,不仅可 以进行圆片级生产、产品 批量化,而且具有价格便 宜、体积小、重量轻、可 靠性高等优点.RF MEMS器件主要可以 分为两大类：一类称为无 源MEMS,其结构无可动零 件；另一类称为有源 MEMS,有可动结构,在电 应力作用下,可动零件会 发生形变或移动.其关键 加工技术分为四大类：平 面加工技术、体硅腐蚀技 术、固相键合技术、LIGA 技术.
