问题描述： 等离子体溅射 什么是等离子体溅射? 1个回答 分类：化学 2014-09-28 问题解答： 我来补答 用直流或射频的方法使稀有气体电离成等离子体,再通过偏置等方法轰击在需要溅射的靶上,使靶上的原子有足够的能力脱离原子间的力飞溅出来,最后落在需要镀的基板上 展开全文阅读
