硅太阳能电池制造工艺流程中哪些地方用到纯水

问题描述:

硅太阳能电池制造工艺流程中哪些地方用到纯水
要权威一点全面一点的
1个回答 分类:综合 2014-12-14

问题解答:

我来补答
1 硅片扩散前的清洗,2 硅片扩散过程中漂洗,3 光刻窗口腐蚀后漂洗,4 金属化前的清洗,5 金属化电极光刻腐蚀后漂洗,6 所有直接接触高温、真空的工夹具、附件的清洗.
 
 
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