问题描述： 太阳能等离子刻蚀机的真空泵产生气体是什么气体,对人会产生什么危害 1个回答 分类：综合 2014-12-16 问题解答： 我来补答 CF4和NH3的反应气体,真空泵排气端接尾气处理装置,处理后空排,应该不会对人产生危害的,如果没有尾气处理装置,产生氟化物气体对人伤害较大,主要表现为肺部病状和生殖系统病状.环保局要管的. 展开全文阅读
