问题描述： 什么是深次微米 1个回答 分类：综合 2014-11-15 问题解答： 我来补答 集成电路通常把0.8—0.35 m称为亚微米,0.25 m及其以下称为深亚微米,0.05 m及其以下称为纳米级.深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子 展开全文阅读
