1、秦代开始形成制度,中央设立御史大夫,在地方上,皇帝派御史常驻郡县,称“监御史”,负责监察郡内各项工作；
2、汉承秦制,但较秦制更严密.在西汉,中央仍设御史大夫作为长官,御史中丞为副,兼掌皇帝机要秘书和中央监察之职.在地方每州设一刺史,用以监察地方政情、受理案件、考核官吏：
3、魏晋南北朝时期这一时期基本处于封建割据的分裂状态.各朝的监察机构名目不一,但体制与汉代基本相同；
4、隋唐时期隋代时,中央的监察机构仍为御史台,长官为御史大夫,下设治书御史2人为副；改检校御史为监察御史,共12人,专执掌外出巡察；
5、宋代监察机构随着封建专制主义的发展而加强.中央沿袭唐制,御史台仍设三院.地方如设通判,与知州平列,号称监州,有权随时向皇帝报奏,成为皇帝在地方上的耳目.此外,路一级的转运使、提点刑狱公事等,也负有监察州县的责任；
6、元代中央设御史台,还在江南和陕西特设行御史台,其组织与中央御史台相同,作为中央御史台的派出机关.这是元代监察制度的重大发展.全国分为22道监察区,各设肃政廉访使（即监察御史）常驻地方,监察各道所属地方官吏；
7、明代监察制度随着君主专制中央集权的强化而得到充分发展和完备.中央将御史台改为都察院,明代还建立御史出使巡按地方的制度.出巡之官受皇帝之命,可兼管地方其他事务.担任总督和巡抚的官员,其权力比一般巡按御史要大,有“便宜从事”之权.都察院除执行监察权外,还握有对重大案件的司法审判权.战时,御史监军,随同出征.明代还将地方分区监察和中央按系统监察相结合,专设六科给事中,稽察六部百司之事,旨在加强皇帝对六部的控制.礼、户、吏、兵、刑、工六科,各设都给事中1人,左右都给事中各1人,给事中若干人.凡六部的上奏均须交给事中审查,若有不妥,即行驳回；皇帝交给六部的任务也由给事中监督按期完成.六科给事中与各道监察御史合称科道.科道官虽然官秩不高,但权力很大,活动范围极广.
8、清代清代监察机构沿袭明代,又有所发展.在中央,仍设都察院.各级官吏均置于都察院监督之下.清代都察院以都御史为主事官,他与六部尚书、通政使、大理寺卿等重要官员共同参与朝廷大议.都察院下设15道监察御史(清末增至22道),专司纠察之事.雍正年间,专察六部的六科给事中并入都察院.六科给事中和各道监察御史共同负责对京内外官吏的监察和弹劾.唐代的台、谏并列,明代的科、道分设,清代的科、道则在组织上完全统一.监察权的集中,是清代监察制度的一大特点.清代,一方面允许监察官风闻言事,直言不讳；另一方面为了防止监察官权力过大,规定御史对百官弹劾要经皇帝裁决.
演变规律是监察官地位越低,权责越重,越来越服从于皇权对地方官员和中央高官进行监督.
