问题描述： 硅片晶圆超声波清洗机的工艺流程? 1个回答 分类：综合 2014-11-02 问题解答： 我来补答 为您 自动上料→去离子水+超声波清洗+振动筛抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→自动下料 展开全文阅读
