问题描述： 做半导体工艺中硅片外延片与单晶CZ晶片有什么区别? 1个回答 分类：综合 2014-11-28 问题解答： 我来补答 外延生长技术发展于20世纪50年代末60年代初,为了制造高频大功率器件,需要减小集电极串联电阻.像现在很火的led、mems,应该大多是做外延硅.cz法做的硅片用途很广,但是质量上肯定没法比的,做器件的话顶多也是做基底用. 展开全文阅读
