问题描述： 光刻中什么i线和g线在光刻技术中,i线和g线指的是什么,波长不一样吗,还是原理? 1个回答 分类：综合 2014-10-08 问题解答： 我来补答 指的是波长,i线是指365nm,g线是指436nm,高压汞灯中能量最高的两个谱线.波长越短,光刻分辨率越高. 展开全文阅读
