问题描述： 简述光刻的工艺过程（步骤） 1个回答 分类：综合 2014-10-20 问题解答： 我来补答 1. wafer 表面处理；2. 旋涂光刻胶（包括抗反射层）3. 前烘；4. 曝光；5. 后烘；6. 显影,有的需要在显影前进行坚膜；7. 刻蚀 展开全文阅读
