四探针法中,方块电阻就是表面电阻率吗?可以采用这种四探针法直接测试薄膜的表面电阻率吗?

方块电阻就是表面电阻率.
可以四探针法直接测试薄膜的表面电阻率.
计算公式：方块电阻（或表面电阻率）R = 4.532 * V / I .其中,V 是探针2-3 间的电位差； I 是探针1-4 间的电流.