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我单位的真空溅射镀膜机今天换了铝靶后开机运行,mp5刚加功率就放炮了,测靶与壳体电阻,200k欧档为90k欧,2000k欧档为200k欧.交换表笔后测值为无穷大.这是为何?请高手帮忙分析下原因.
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