请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?

你的问题太泛泛了,真空镀膜机一般包括几个部分：
1. 真空室
2. 抽气系统（各种泵）
3.真空测量系统（真空计）
4.镀膜系统（各种蒸发源及电源）
5.电器控制系统及软件控制系统
6.压缩空气和冷却水及工艺气体分配系统.
再问： 谢谢 我的意思是从机械的角度来说 我关注的是机器的振动，所以主要就是电机 ，请问一般有几个电机 都是做什么的 ？有没有简化图之类的说明资料 谢谢啊