表面粗糙度 小于 0.1μm rms

Root Mean Square的缩写
RMS值实际就是有效值,就是一组统计数据的平方的平均值的平方根.
RMS＝（X1平方＋X2平方＋.＋Xn平方）/n 的平方根.
在这里的意思就是0.1μm是一个平方根值,该数据经过多次测量的统计数据得到.
再问： 谢谢您的回答。 但是我认为你说的不对。 原文是这样写的 The roughness should be less than 0.1μm rms。 所以我认为 rms代表是一种粗糙度，貌似与Rq有些关系。
再答： 表面粗糙度，是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下）。 这就说明粗糙度的标示单位为距离，那么“0.1μm rms”中的rms我觉得就是形容“0.1μm”的情况，所以我觉得这里“rms”就是指“0.1μm”是根据一组统计数据得出来的。