有前级阀 旁路阀 扩散泵的抽真空系统工作原理

详细点,做什么用的.有什么要求?我就搞真空设备的
例如：

再问： 晶体生长炉用的 要求抽到十的负三次方 求大神解答！
再答： 1,机械泵（滑阀泵，旋片泵）启动，开启粗抽阀，（抽得到的真空是低真空），原理是通过机械泵的滑片旋转，把气体排出去，但他最多能达到E-1Pa, 2，要想得到更高的真空，加二级泵---罗茨泵，它能抽到E-2Pa。罗茨泵是内部两个相对8子旋转，它的极限一般是5E-2Pa.但罗茨泵的特性是入口压力（真空度）1000PA以下，否则容易烧毁电机。罗茨泵排气口不能直排到大气，所以排气口必须接机械泵。 3，如果想达到E-3Pa,必须再加一个扩散泵（或分子泵），扩散泵必须事先预热1小时以上。在开启扩散泵的时候，必须用机械泵，前级阀，保证扩散泵内部是真空状态，以免扩散泵油高温氧化或扩散泵爆炸。扩散泵的工作是5Pa,（关闭粗抽阀，开启主阀，前级阀）但实际应用是最好当真空度达到E-1Pa，开启主阀的效果好。原理楼下说的非常专业，也就不多说了。